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            LDW-D1

            一款高端量產設備,采用高端空間光調制器件數據處理系統,可 實現高解析度、高產能、智能管控的量產需要。設備主要應用于 平板顯示、先進封裝等微納加工領域。
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            產品描述
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            1.產品描述

             

                   一款高端量產設備,采用高端空間光調制器件數據處理系統,可 實現高解析度、高產能、智能管控的量產需要。設備主要應用于 平板顯示、先進封裝等微納加工領域。

             

            2.產品特點

             

               •  網格精度:200nm

             

               •  最小線寬:700nm

             

               •  基本尺寸:12inch(可拓展)

             

               •  曝邊:選配

             

               •  智能化:自動打碼、讀碼、對接MES系統

             

               •  支持格式:GDSII/ODB++/Gerber

             

            3.技術規格

             

             

            設備型號 LDW-D1
            支持基板尺寸[inch]
            300x300
            最小線寬[nm]
            700
            套刻精度[3σ,nm]
            400
            產能[ mm² /min] 3000
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